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    欄目名稱

    特氣系統案例
    發表時間:2021-03-17     閱讀次數:

    特種氣體、大宗氣體都是半導體生產過程中不可或缺的。半導體用特種氣體有大量易燃易爆、劇毒、腐蝕性氣體,例如硅烷SiH4,磷烷PH3,四氟化碳CF4,氯氣Cl2等。半針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于特氣柜(Gas Cabinet)內,再通過管道將氣體供應至現場附近的閥門箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point of Use),于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯機,以質流流量計控制器(MFC, Mass Flow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制,輸送一般采用EP級不銹鋼管道(危險氣體采用雙套管),優獲科技為您提供設計,選型,制造,安裝,測試,調試的整體解決方案。

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