電子特氣，以下簡稱特氣，是VLSI、液晶顯示設備、半導體發光器件和半導體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料。其純度和清潔度直接影響著光電產品的質量、微電子元件的質量、集成度的具體技術指標和良率，從根本上限制了電路和器件的準確性。特氣管路系統是為保證特氣純度和安全穩定輸送的供氣系統。

特種氣體工藝系統的硬件需求

1、儲存、供氣的氣瓶柜（GC特氣柜）、氣瓶架（GR特氣架）。

2、氣體分配用閥門箱（VMB）、閥門盤（VMP）。

3、輔助氮氣吹掃系統。

4、尾氣處理設備（Local Scrubber）。

在線顯示：通過二次儀表顯示氣體含量并能設定上下限報警值，通過壓力表顯示值觀察得到各個氣源鋼瓶內的壓力。

2）換裝鋼瓶: 在換裝鋼瓶的同時相應的閥門按鈕控制開關，同時設備與氣體泄露偵測器，氣體壓力傳感器聯動，時刻監視設備的狀態，通過電信號第一時間發出設備異常報警信號及相應應急開關閥門的自動指令。

3）維修吹掃：設備定期檢修吹掃的同時偵測器時刻運行，發現泄露點后立即迅速切斷相應設備閥門，若是氣體儲藏室發生氣瓶自身泄露則通過柜體的排風系統排除室外。

4）手動模式：當設備異常時自動操作無法正常運行，或特殊情況必須手動開啟氣動閥時，既可采用手動模式強制閥的開閉。（須經過2~3課時進行專業培訓的操作人員方可進行此操作）

5）正/負壓保壓測漏：通過對設備管路保正壓的方式，觀察是否有泄漏的情形。（此階段于更換鋼瓶后針對鋼瓶接頭的銜接的測漏）保負壓方式（此階段于拆換舊瓶時針對鋼瓶閥是否確實關斷的銜接的偵測）。